Mikroelektronik
来自materialographischer Sicht umfasst死Mikroelektronik drei Probentypen:
- Silizium-Wafer
- IC-Bausteine和Bauteile
- Leiterplatten
来自materialographischer Sicht umfasst死Mikroelektronik drei Probentypen:
邓恩Scheiben des zylindrischen Silizium-Ingots了materialographisch毛皮死亡分析军队der Regel死IR-Mikroskopie和死FTIR-Spektroskopie prapariert。
死Herstellung冯晶体umfasst zahlreiche,西奇wiederholende Prozesse,嗯vollstandige elektronische Bauteile和integrierte Schaltkreise auf der Oberflache des Wafersubstrats祖erzeugen wonach der晶片vereinzelt将。
去prazisem materialographischem Polieren了死winzigen平行-奥得河Querschliffedes晶片在围网渔船不verkapselten kontrolliert形式。死Einzelheiten integrierter Schaltkreise了我去Große和艺术der分析unt einem Licht -奥得河Elektronenmikroskop untersucht。
邓恩Scheiben des zylindrischen Silizium-Ingots了materialographisch毛皮死亡分析军队der Regel死IR-Mikroskopie和死FTIR-Spektroskopie prapariert。
死Herstellung冯晶体umfasst zahlreiche,西奇wiederholende Prozesse,嗯vollstandige elektronische Bauteile和integrierte Schaltkreise auf der Oberflache des Wafersubstrats祖erzeugen wonach der晶片vereinzelt将。去prazisem materialographischem Polieren了死winzigen平行-奥得河Querschliffedes晶片在围网渔船不verkapselten kontrolliert形式。死Einzelheiten integrierter Schaltkreise了我去Große和艺术der分析unt einem Licht -奥得河Elektronenmikroskop untersucht。
1。死geringen Abmessungenverlangen hochspezialisierte Gerate和entsprechendes Zubehor,死皮死Handhabung sehr kleiner Proben geeignet信德。死Anforderungen一个死Genauigkeit der materialographischen Prozesse以色列立Trennen Schleifen信德贝Proben im Mikrometerbereich deutlich啊。
2。死Materialzusammensetzung是在der Regel komplex, da weiche Metalle, Keramik和Verbundstoffe梅祖茂堂mikroelektronischen Bauteilen verbaut信德。死verlangt Kompromisse贝der Wahl der Praparationsmethode和参数,死sorgfaltig auf死vorgegebenen Anforderungen abgestimmt了得。
3所示。死Untersuchung kleiner Ziele erfordert明信片kontrollierte, prazise Praparation。Moglich将死的军队hohe mechanische Prazision, optische Messeinheiten和mechanische阻止,麻省理工学院anderen Worten automatische Gerate, im Vergleich祖茂堂der traditionellen Technik死去,Schleifen和anschließendes Prufen, optimiert wurden。
毛皮das Trennen模特大赛我去艺术der祖茂堂untersuchenden探针verschiedene Prazisionstrenngerate苏珥Verfugung。
Zum Trennen冯Kunststoffen eignen西奇elektroplattierte Diamanttrennscheiben奥得河Diamanttrennscheiben麻省理工学院Kunststoffbindung。
秋季jedem吵架der Trennschnitt总是那么魏特·冯·民主党祖茂堂untersuchenden德国是不是moglich angesetzt了,嗯mogliche direkte Beschadigungen祖茂堂vermeiden。Restmaterial萤石丹新一轮Trennen vorsichtig abgeschliffen了。我更多Sorgfalt皮毛的估计值ersten Schritt aufgewendet将,desto geringer】Risiko静脉Rissbildung贝keramischen Werkstoffen,芯片和格拉斯奥得河风景明信片Ablosung冯层奥得河Lotstellen。
毛死Extraktion冯Leiterplattencoupons模特大赛spezielle Probenahmegerate苏珥Verfugung。潮湿的der Automatisierung和optischen Messtechniken能帮优惠券麻省理工的估计值Geraten mittig punktgenau gebohrt和gefrast了。Empfindliche奥得河kleine Proben sollten伏尔民主党Trennen impragniert了。
Empfehlenswert信德Einbettmittel麻省理工学院niedriger Ausharttemperatur,一张Warmeeinwirkung Lotmittel汪汪汪和复合神经节祖茂堂vermeiden。毛皮kleine奥得河sprode Proben,她Silizium-Wafer,将静脉Einbettmittel麻省理工学院geringer Schrumpfung bevorzugt,嗯das Risiko静脉静脉最低祖茂堂beschranken Rissbildung再见。
死Einbettmethode弄乱一个死Analysemethode angepasst了。
贝Spezialgeraten besteht Moglichkeit死去,Bauteile毛皮那些死Prufung冯通过奥得河死Zielpraparation direkt在民主党Probentrager einzubetten。
Zum manuellen奥得河halbautomatischen Schleifen和Polieren mikroelektronischer Bauteile eignen西奇herkommliche Gerate。Zum Ausrichten der探针和苏珥Kontrolle des Materialabtrags了allerdings spezielle Probenhalter verwendet,死一张prazisere替代祖茂堂der ublichen Technik, d。h。Schleifen和anschließendes Prufen, darstellen。
贝der Wahl der Schleif——和Poliermethode信德insbesondere死Werkstoffkombinationen祖茂堂beachten。Beispiele hierfur信德皮毛——和平行Querschliffe讨债人,sproder Silizium-Wafer Anordnungen·冯·Lotkugeln来自布莱奥得河津恩,Leiterplatten麻省理工学院Kupfer-Vias auf einem Substrat来自sproder Keramik奥得河duktilem聚合物奥得河Querschliffe冯ICs麻省理工学院Silizium Keramik、黄金、自然铜、铝和辛麻省理工学院静脉Genauigkeit冯wenigen 100 Mikrometern。
死Wahl冯Schleif——和Polieroberflachen -suspensionen将在der Regel军队死Anforderungen Abtragrate, Planheit,浮雕,Randscharfe和Verschmieren bestimmt。e-Metalog enthalt rund 25 Spezialmethoden毛皮elektronische Bauteile,死一张breite Auswahl一个Werkstoffkombinationen和Praparationsanforderungen abdecken。