Mikroelektronik

Mikroelektronik

来自materialographischer Sicht umfasst死Mikroelektronik drei Probentypen:

  • Silizium-Wafer
  • IC-Bausteine和Bauteile
  • Leiterplatten

Silizium-Wafer

死Leistung进行Silizium-Halbleiters是eng麻省理工学院青年社Materialeigenschaften, genauer gesagt Gefuge和chemische Zusammensetzung, verbunden。

邓恩Scheiben des zylindrischen Silizium-Ingots了materialographisch毛皮死亡分析军队der Regel死IR-Mikroskopie和死FTIR-Spektroskopie prapariert。

死Herstellung冯晶体umfasst zahlreiche,西奇wiederholende Prozesse,嗯vollstandige elektronische Bauteile和integrierte Schaltkreise auf der Oberflache des Wafersubstrats祖erzeugen wonach der晶片vereinzelt将。

去prazisem materialographischem Polieren了死winzigen平行-奥得河Querschliffedes晶片在围网渔船不verkapselten kontrolliert形式。死Einzelheiten integrierter Schaltkreise了我去Große和艺术der分析unt einem Licht -奥得河Elektronenmikroskop untersucht。

Silizium-Wafer

死Leistung进行Silizium-Halbleiters是eng麻省理工学院青年社Materialeigenschaften, genauer gesagt Gefuge和chemische Zusammensetzung, verbunden。

邓恩Scheiben des zylindrischen Silizium-Ingots了materialographisch毛皮死亡分析军队der Regel死IR-Mikroskopie和死FTIR-Spektroskopie prapariert。

死Herstellung冯晶体umfasst zahlreiche,西奇wiederholende Prozesse,嗯vollstandige elektronische Bauteile和integrierte Schaltkreise auf der Oberflache des Wafersubstrats祖erzeugen wonach der晶片vereinzelt将。去prazisem materialographischem Polieren了死winzigen平行-奥得河Querschliffedes晶片在围网渔船不verkapselten kontrolliert形式。死Einzelheiten integrierter Schaltkreise了我去Große和艺术der分析unt einem Licht -奥得河Elektronenmikroskop untersucht。

IC-Bausteine和Bauteile

Anschließend findet das包装文化建设der骰子。

Packaging-Methoden umfassen verschiedene债券——和Beschichtungstechniken死阿莱auf极端Kompaktheit abzielen。

MaterialographischeQuerschliffe这位winzigen, hochkomplexen Bauteile der Entwicklung了,民主党Entwurf贝Produktionsstichproben和Fehleranalysen verwendet。这位Untersuchungen ziel4】Erkennen冯·Rissen Poren, Lotperlen, leitfahigen和dielektrischen层,Verbindungen等。Schwerpunkt der Untersuchung是haufig静脉bestimmter德国des包装材料和苏打水死materialographischen Applikationen死Identifizierung和Erkennung这本ziel4 moglich麦臣得。

Diskrete Bauteile她Kondensatoren, Widerstande等。了ebenfalls materialographisch untersucht,嗯死Defekte der Geometrie和des Gefuges祖茂堂erkennen。

Leiterplatten bestehen来自einem Tragermaterial来自glasfaserverstarktem Epoxid奥得河Keramik, darauf aufgebrachten Kupferschichten和durchkontaktierten Lochern,死欧什als通过bezeichnet了。

Proben der Leiterplattenmaterialien了prapariert,嗯Defekte im Substratmaterial, das死elektronischen Bauteile tragt,祖茂堂erkennen。
阿莱maßgeblichen Industriestandards和规格verlangen一张materialographische Prufung der Qualitat冯Lotverbindungen auf静脉Leiterplatte。祖茂堂diesem Zweck将静脉Testcoupon entnommen和prapariert,苏打水死Bohrungsmitte unt einem Mikroskop untersucht了萤石。

Zusatzlich了Verbindungen Schichtbindungen和迪肯在Querschliffen gepruft。欧什毛皮Leiterplatten了prazise materialographische Prozesse verwendet, wobei der Zweck der Untersuchung窝vorgegebenen德国festlegt。

Materialographische Praparation冯·Mikroelektronik kontrollierter Materialabtrag (CMR)和Zielpraparation实践

贝der materialographischen Praparation冯mikroelektronischen Bauteilen镀金,drei Herausforderungen祖茂堂meistern。

Kleinste Abmessungen

1。死geringen Abmessungenverlangen hochspezialisierte Gerate和entsprechendes Zubehor,死皮死Handhabung sehr kleiner Proben geeignet信德。死Anforderungen一个死Genauigkeit der materialographischen Prozesse以色列立Trennen Schleifen信德贝Proben im Mikrometerbereich deutlich啊。

Komplexe Werkstoffzusammensetzungen

2。死Materialzusammensetzung是在der Regel komplex, da weiche Metalle, Keramik和Verbundstoffe梅祖茂堂mikroelektronischen Bauteilen verbaut信德。死verlangt Kompromisse贝der Wahl der Praparationsmethode和参数,死sorgfaltig auf死vorgegebenen Anforderungen abgestimmt了得。

Kontrollierte, prazise Praparation

3所示。死Untersuchung kleiner Ziele erfordert明信片kontrollierte, prazise Praparation。Moglich将死的军队hohe mechanische Prazision, optische Messeinheiten和mechanische阻止,麻省理工学院anderen Worten automatische Gerate, im Vergleich祖茂堂der traditionellen Technik死去,Schleifen和anschließendes Prufen, optimiert wurden。

Trennen和Probenahme

毛皮das Trennen模特大赛我去艺术der祖茂堂untersuchenden探针verschiedene Prazisionstrenngerate苏珥Verfugung。

  • 所以拉森西奇einfachQuerschliffe麻省理工学院进行Mobiltelefons奥得河静脉Bauteilen bestuckten Leiterplatte auf einem manuell奥得河automatisch betriebenen mittelgroßen Gerat herstellen。
  • Zum Trennen einzelner, kleiner奥得河zerbrechlicher Bauteile,死一张hohere Prazision verlangen,是静脉Prazisionstrenngerat empfehlenswert。
  • Zum Trennen冯Kunststoffen eignen西奇elektroplattierte Diamanttrennscheiben奥得河Diamanttrennscheiben麻省理工学院Kunststoffbindung。

秋季jedem吵架der Trennschnitt总是那么魏特·冯·民主党祖茂堂untersuchenden德国是不是moglich angesetzt了,嗯mogliche direkte Beschadigungen祖茂堂vermeiden。Restmaterial萤石丹新一轮Trennen vorsichtig abgeschliffen了。我更多Sorgfalt皮毛的估计值ersten Schritt aufgewendet将,desto geringer】Risiko静脉Rissbildung贝keramischen Werkstoffen,芯片和格拉斯奥得河风景明信片Ablosung冯层奥得河Lotstellen。

毛死Extraktion冯Leiterplattencoupons模特大赛spezielle Probenahmegerate苏珥Verfugung。潮湿的der Automatisierung和optischen Messtechniken能帮优惠券麻省理工的估计值Geraten mittig punktgenau gebohrt和gefrast了。Empfindliche奥得河kleine Proben sollten伏尔民主党Trennen impragniert了。

Einbetten

Mikroelektronische Bauteile eignen西奇aufgrund我Verbundstruktur和Zerbrechlichkeit不毛皮das Warmeinbetten。

Empfehlenswert信德Einbettmittel麻省理工学院niedriger Ausharttemperatur,一张Warmeeinwirkung Lotmittel汪汪汪和复合神经节祖茂堂vermeiden。毛皮kleine奥得河sprode Proben,她Silizium-Wafer,将静脉Einbettmittel麻省理工学院geringer Schrumpfung bevorzugt,嗯das Risiko静脉静脉最低祖茂堂beschranken Rissbildung再见。

死Einbettmethode弄乱一个死Analysemethode angepasst了。

  • 毛皮regelmaßig geformte Einbettungen了毛皮Lichtmikroskope durchlassige Epoxid-Einbettmittel verwendet。
  • 得Hohlraume和Poren gefullt了,将das Vakuumimpragnieren empfohlen。军队Beimischen进行fluoreszierenden Farbstoffs将静脉hervorragender Kontrast苏珥Erkennung冯Hohlraumen和Rissen unt民主党Lichtmikroskop erreicht。
  • 毛皮sehr kleine通过sollte静脉Einbettmittel麻省理工学院geringer Viskositat gewahlt了,das迅速地在洛克fließt。

贝Spezialgeraten besteht Moglichkeit死去,Bauteile毛皮那些死Prufung冯通过奥得河死Zielpraparation direkt在民主党Probentrager einzubetten。

Schleifen和Polieren

Zum manuellen奥得河halbautomatischen Schleifen和Polieren mikroelektronischer Bauteile eignen西奇herkommliche Gerate。Zum Ausrichten der探针和苏珥Kontrolle des Materialabtrags了allerdings spezielle Probenhalter verwendet,死一张prazisere替代祖茂堂der ublichen Technik, d。h。Schleifen和anschließendes Prufen, darstellen。

  • 贝der automatisch kontrollierten Oberflachenpraparation了这位——和Parallelschnitte eingebettete和不eingebettete Proben在Spezialgeraten苏珥Erkennung冯sichtbaren和不sichtbaren Zielen geschliffen poliert。
  • Lasermessungen gewahrleisten一张Genauigkeit冯±5µm麻省理工学院静脉automatischen Neuberechnung der Abtragsrate在内Praparation。
  • 贝Proben麻省理工学院sichtbaren Zielen erfolgen Ausrichtung和Messung mithilfe进行Videosystems,贝不sichtbaren Zielen麻省理工学院einem Rontgengerat。

贝der Wahl der Schleif——和Poliermethode信德insbesondere死Werkstoffkombinationen祖茂堂beachten。Beispiele hierfur信德皮毛——和平行Querschliffe讨债人,sproder Silizium-Wafer Anordnungen·冯·Lotkugeln来自布莱奥得河津恩,Leiterplatten麻省理工学院Kupfer-Vias auf einem Substrat来自sproder Keramik奥得河duktilem聚合物奥得河Querschliffe冯ICs麻省理工学院Silizium Keramik、黄金、自然铜、铝和辛麻省理工学院静脉Genauigkeit冯wenigen 100 Mikrometern。

死Wahl冯Schleif——和Polieroberflachen -suspensionen将在der Regel军队死Anforderungen Abtragrate, Planheit,浮雕,Randscharfe和Verschmieren bestimmt。e-Metalog enthalt rund 25 Spezialmethoden毛皮elektronische Bauteile,死一张breite Auswahl一个Werkstoffkombinationen和Praparationsanforderungen abdecken。

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